IEPE加速度振动传感器、单轴、双轴、三压电式

压电集成电路振动加速度计,利用En-In噪声模型将内部噪声源等效输入端,实现了输入噪声和输入信号的直接对比,能容易得到噪声对信号的影响.将Y-Δ变换原理引入T型网络噪声分析,降低噪声分析难度.通过对电路噪声的分析,在宽频范围内推导出可用于计算IEPE加速度计电路本底噪声的公式.将理论计算值与PSpice软件噪声分析所得值进行了对比,证明二者具有良好的相关性,同时得出了各噪声源在输入端对总噪声的贡献,提出了在不同频段内降低总噪声的方法,为IEPE加速度计电路的低噪声设计,参数选择和性能优化提供了理论依据.实验样机的实际值与理论值的对比结果表明,此法对于IEPE加速度计电路低噪声设计具有应用价值.

加速度传感器接口电路的研发是加速度传感器研究的重要组成部分,具有实现加速度传感器的实用化的重要意义。针对当前电容式微加速度计相关理论研究和接口电路设计中存在的不足,论文主要完成以下几个工作:电容式微加速度计噪声分析与电路优化,提出针对性的降噪措施;接口电路的系统构架和模块设计,并对性能和参数进行改善;接口电路的版图设计和加速度计系统的综合测试。

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